高级检索

ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码
大焦深数字灰度光刻物镜设计
胡思熠, 许忠保
2013, 37(4): 464-468. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.04.011
关键词: 光学设计, 长焦深, 相位型光瞳滤波器, 无掩膜光刻